CLBO晶體生長及性能研究
引言激光自發(fā)明以來便在人類各領(lǐng)域發(fā)展中發(fā)揮了極為重要的作用,并取得了重大技術(shù)進(jìn)步。特別是紫外波段激光,在科學(xué)研究、光刻技術(shù)、生物醫(yī)學(xué)和材料加工等行業(yè)有廣泛的應(yīng)用需求。半導(dǎo)體光刻技術(shù)的進(jìn)步創(chuàng)造了對158、193nm相干光源的需求,先進(jìn)科學(xué)儀器、納米精密激光加工等也迫切需要深紫外激光。目前,盡管準(zhǔn)分子激光器能